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1.硬件控制核心:主板集成了对划片机各个硬件部分的控制功能。在复杂的划片机系统中,包括空气静压主轴、机械切割系统(涉及主轴、X、Y、Z以及旋转T多轴运动系统)、晶圆传输定位系统、传感器等硬件主板通过发送指令和接收反馈信号,实现对这些硬件的精确控制。2.软件运行平台:划片机的自动化操作依赖于控制软件的运行,而主板则提供了这一软件的运行平台。通过主板,控制软件能够实现对划片过程的自动化控制,包括自动对焦、自动识别对刀、自动上下料和自诊断报警等功能。3.数据传输与处理:在划片过程中,主板还负责数据的传输与处理。例如,晶圆的位置信息、切割参数等都需要通过主板进行传输和计算,以确保切割的精度和效率。4.电源管理:主板还负毒为划片机的各个部件提供稳定的电源供应,确保划片机的正常运行。
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