HiPace 80用于分子束外延 MBE, 主要针对金属薄膜及材料器件的氧化物外延生长,?用于SPECS 近常压光电子能谱仪设备,用于自主搭建真空腔体
Pfeiffer HiPace 80 抽速可达到 71 l/s 高性能涡轮分子泵.? 对所有气体的高抽速和极高压缩比,防护等级 IP 54, 符合工业环境要求,并且可应用于腐蚀性气体工艺
?HiPace 80分子泵应用
分析仪器: 电子显微镜, 检漏, 小型质谱, 表面分析, 残余气体分析
半导体: PVD, inspection, bonding, MBE, load-locks
工业: 医学技术, 工业检漏, 隔离真空, 灯管制造