Parker派克减压阀、超高纯减压阀、微型超精密减压阀-派克仪表总代理

Parker减压阀是针对半导体流程工艺的精确控制和高性能要求而开发的产品，它针对超   

高纯气体流通环境的要求以及特种气体的特性进行设计和制造。

①. 超高纯减压阀表面安装集成模块（IGS ）系列：

? 1 1? "&1 1?8"SEMI 模块化接口设计

? 表面光洁度为 Ra

? 无螺纹/弹簧设计(介质流通的腔道内)

? Hastelloy C-?材质的膜片和阀芯

? 膜片/阀芯一体式设计

②. 微型超精密减压阀

? 最优化的设计使流道、内腔与介质的接触面积最小

? 表面光洁度为 Ra

? 无弹簧/螺纹设计(介质流通的腔道内)

? Hastelloy C-?材质的膜片和阀芯

? 膜片/阀芯一体式设计

③.超高纯减压阀SQ系列

? 终端（POU ）减压阀

? 无弹簧/螺纹设计(介质流通的腔道内)

? Hastelloy C-?材质的膜片和阀芯

? 膜片/阀芯一体式设计

④. Quantum系列：

? 膜片/阀芯一体式设计

? 内腔无螺纹设计

? 膜片与阀体间采用金属密封

? 标准Cv值0  . 04；Cv值0  . 可选

? 两级减压可选