PURERON陶瓷气体过滤器PGF系列
PURERON陶瓷气体过滤器PGF系列
产品价格:¥1256(人民币)
  • 规格:完善
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    商品详情

      产品名称:PURERON陶瓷气体过滤器PGF系列

      产品型号:PGF

      产品介绍

      具备高过滤精度和高耐腐蚀性等特性的陶瓷过滤器,高水平的去除气体管道内的粒子,同时实现高选择性。(可以满足200℃高温烘干、H20浓度消减到5ppb以下)

      性能特点

      ●对于亚微米LSI工艺,须向使用点供应高纯度工艺气体。为此,超清洁管道也是一个主要问题。为了满足这些要求,Pureron Japan开发了使用陶瓷作为过滤元件的全新过滤器,并在稳定条件下实现了0.003μm的高精度过滤。蚀刻和薄膜所需的高选择性。

      ●去除诸如水和氧的杂质对于寻求高选择性是非常重要的。为了确保去除杂质,高温烘烤是必不可少的。Pureron Japan的陶瓷过滤器就是从这个角度开发的,可以在200°C下进行高温烘烤。通过免维护操作降低成本。

      ●三层过滤结构,取决于颗粒直径的大小,很少产生堵塞。与传统过滤器相比,陶瓷过滤器还具有良好的耐久性和耐热性。因此,生产停工造成的损失很小,实现了长期成本降低。

      选型指南

      可选功能与配件

      过滤烘烤:200°C,2小时

      金属帽

      对于PGF-8型大流量,请联系我们。

      技术参数

      去除率:0.003μm

      建议流速:10 ? 200L/min.

      20℃时的设计压力:17MPa(2465PSIG)

      正常工作压力:小于1MPa(145PSIG)

      20℃时允许压差:max.9.6MPa(1392PSIG)

      连续使用温度:max.120℃

      烘烤温度:200℃

      外部泄漏量:2×10?11Pa?立方米/秒(He)以下 (或更少)

      结构要素

      外壳:SUS316L内面粗度

      粗糙度:Rmax0.7μm以下 (或更少)

      元件:氧化铝陶瓷、Al2O3

      密封:PTFE

      接头:1/4”、3/8”、1/2”、3/4”垫片密封、压缩密封等

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