ASML 859-8090-005-N

ASML 859-8090-005-N参数详解宁德润恒自动化作为知名的自动化设备供应商，其提供的ASML 859-8090-005-N在半导体制造领域具有重要作用。本文将对该设备的严肃参数进行详细解析，以便用户全面了解其性能特点与应用优势。ASML 859-8090-005-N是一款高精度光学组件，主要用于先进的光刻机系统。该组件具备以下核心参数：1. 光学性能参数波长范围：该组件支持193nm至365nm的光谱范围，确保了在多种光刻工艺中的适用性。分辨率：其光学分辨率高达45nm，能够满足当前的芯片制造需求，保障芯片图案的精确转移。透过率：在特定波长下，透过率超过95%，保证了光能量的高效利用，从而提高生产效率。2. 机械参数尺寸：组件尺寸为320mm x 240mm x 50mm，紧凑的设计使其能够适应复杂的光刻机内部结构。重量：约5.2kg，轻巧的重量有助于减少设备整体的负荷，提高系统的稳定性。安装接口：采用标准化接口设计，兼容主流光刻设备，便于安装和维护。3. 环境适应性参数工作温度：组件在15°C至35°C的温度范围内能稳定运行，适应洁净室的环境要求。湿度要求：相对湿度控制在30%至70%之间，以防止光学元件表面结露，确保设备长期稳定运行。抗震性能：具备较强的抗震性能，可承受1.0G的加速度，保障在复杂生产环境中的可靠性。4. 电气参数供电电压：24V直流供电，低功耗设计，有助于节约能源，减少运营成本。信号接口：支持高速数据传输接口，如GigE Vision或Camera Link，确保与控制系统的高效通信。功耗：最大功耗为35W，节能环保，符合现代工业的绿色发展理念。5. 可靠性与寿命平均无故障时间(MTBF)：超过50000小时，高可靠性减少了设备维护的频率，提高了生产线的运行效率。使用寿命：在正常使用条件下，组件使用寿命可达10年，为用户提供长期稳定的性能保障。综上所述，宁德润恒自动化供应的ASML 859-8090-005-N以其卓越的光学性能、稳定的机械结构、良好的环境适应性和高可靠性，成为半导体制造领域不可或缺的关键组件。通过深入了解其严肃参数，用户可以更好地利用该组件，提升生产效率和产品质量。

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