详细介绍:
●扩散炉全自动控制系统是新一代扩散炉全自动系统,可实现温度、推拉舟、MFC电磁阀等的全自动控制。无障碍工作时间大于8千小时。其控制精度及质量完全取代进口的同类产品。该系统操作方便、控制精确、稳定可靠、价格合理,特别适合国人的操作习惯。
●系统由DTC(数字温度控制单元)、DPC(数字程序控制单元)和计算机系统。每个炉管都使用独立的DTC和DPC控制,互不影响。四管扩散炉使用四台DTC和四台DPC,共用一台工控计算机管理。工控计算机配套15″TFT高清晰液晶显示屏。
●控制系统使用window/XP操作系统,可选择中文或英文操作界面。先进的HMI人机界面、测量数据直观显示、可储存数千条工艺曲线(每条曲线100步)等。式操作更方便、更可靠。该系统可广泛应用在新扩散炉的升级改造。
●监控软件主要由权限设置、监控视窗、设备组态、帮助彩单四部分组成。监控视窗主由图视界面、数控监控界面、故障记录界面、Recipe管理界面、Recipe编写、数据去线记录界面六个界面组成。
|