简要说明：在线尺寸测量

在线尺寸测量

高速、高分辨率，同时保持稳定，超精密测量。理想的精密阶段，半导体检验/制造系统，以及超精密加工机。

?高分辨率的规模与信号的波长比光波的干涉仪系统approx138nm，
?稳定性高，不受湿度，空气压力和空气的扰动
?参考点精度：±0.1μ米
?准确度：±0.04μ米或更好（测量长度：40毫米）
?完全非接触式设计，返回错误几乎是消除。
?特殊磁性和真空兼容型号
?使用低膨胀玻璃：- 0.7×10 - 6/℃（测量长度：10至420毫米）