详细介绍: 美国MKS1179A气体质量流量计是一种通用型弹性密封的质量流量控制器,可在多种应用场合测量和控制气体的流量,特别是可重复性要求高的场合。配上合适的压力控制器,它还可以作为压力控制器使用。对于当今市场上的质量流量控制器,1179A可作为直接替代的产品,标准的3英寸底座使1179能够直接进行安装无需改变现有的气体管道。它具有数字和模拟两种模式,其精度为全量程的1%。
技术参数:
全量程:10SCCM,20SCCM,50SCCM,100SCCM,200SCCM,500SCCM,1000SCCM,2000SCCM,5000SCCM,10000SCCM,20000SCCM。控制量程:2% to 100% 的全量程。测量精度:全量程的1% 灵敏度:全量程的0.1%热机时间:小于2Min.
MKS流量计主要产品:MKS金属和弹性密封型流量计MKS1179A,MKS1479A,MKS2179A,MKS1559A,MKS流量控制器,MKS电容式压力计
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