真空电机和极端环境兼容的定位平台

Phytron久经考验的真空电机，并将其作为Vacuum Fab srl完全兼容的线性平移和旋转平台的一部分。中国设计师和制造商以及Phytron的经销合作伙伴，是挑战极端环境的真正zhuanjia用于研究和工业的定位机制–范围涵盖多个产品设计，每个产品设计均针对手头任务的精度和动态性能考虑。

图像：Vacu Fab Italia的VLSC系列电动直线平台和Phytron真空步进电机

quanm兼容真空的Phytron步进电机驱动范围，可适用于辐射或低温环境等，包括紧凑的VLSC系列线性平台：封闭式不锈钢框架设计，带有线性保持架球轴承，行程范围为12.5和25mm通过不锈钢丝杠和预加载的PEEK螺母装置提供标称的亚微米精度。

图片：Vacuum Fab Italia的VLSP系列电动线性平台为真空室安装准备的多轴示例

VLSB还是不锈钢材质，是一种开放框架的薄型设计，专门针对入门级应用。其循环滚珠轴承架可承受150 N的载荷，并有助于在250mm的行程范围内提供亚微米级的精度和可重复性。VLSP系列在封闭式机架设计中增加了第二个滑架选项，并选择了各种长度至250 mm的行程。此外，如果使用可选的雷尼绍线性刻度尺，则在Phytron步进电机为微步进模式的情况下，工作台的分辨率可低至0.05微米。对于与真空兼容的旋转位移台，VRSP系列包括一个精密蜗轮蜗杆驱动器，并可选择开环或集成绝对编码器反馈，分辨率可高达0.09 μrad。Vacuum Fab可以在X，Y，Z和旋转平台组装时交付这些平台，还可以制造与真空兼容的镜架，

图像：Vacuum Fab Italia的RodRail eXtreme系列电动线性平台

对于zui具挑战性的特高压，辐射和低温温度环境，Vacuum Fab的RodRail eXtreme电动不锈钢线性平台结合了窄型，轻巧和模块化灵活性，可用于多轴配置。开放式保持架设计有两种尺寸，分别为RRX-Micro和RRX-Nano系列，其轮廓宽度分别为46和28 mm，通过四个平行的循环式杆-轨轴承支撑提供高刚度。不锈钢/ PEEK导螺杆系统在真空中的可重复性小于1微米，在低温温度下的可重复性小于10微米。标准行程长度在25至450mm之间，有多种长度可供选择。可以zhid温度超过77°K时，UHVC真空度高达10-9托。（文章来源网络，侵权即删）